81707新葡萄京_新葡的京集团35222vip

81707新葡萄京
服务热线:0415-6171977

衍射仪薄膜测量装置

衍射仪薄膜测量附件由多层膜反射镜和三维薄膜样品架组成,实现对大于20nm薄膜样品测量。可实现对薄膜样品进行薄膜反射分析XRR(针对多晶、单晶多层薄膜厚度、密度、粗糙度进行精确分析)、薄膜掠入射分析GIXRD(精确分析多层膜中材料的组成、次序、取向等)。

图片1_副本.png

三维薄膜样品架

四维薄膜样品架与测角仪安装设有定位装置,激光测距定位衍射面,安装、拆卸方便,即插即用,无需调整光路。最大可测量样品尺寸:φ70×10mm(或按用户要求设计可以测量样品尺寸)、样品升降精度(Z)轴:1μm。



范    围
参    数
PSI角
转动范围0-70°
转动精度0.1°
CHI角
转动范围±5°
转动精度0.05°
Z轴
距离0~15mm
精度0.001mm


平行光源由多层膜反射镜(Göbel Mirror)和腔体及腔体调整机构组成,安装机构与衍射仪前索拉狭缝体实行互换,平行光源在出厂前已经调整好了,操作人员不需要调整。

 3333.jpg

Göbel Mirror镜平行光发散度小于0.028°,反射效率大于70%



图片2_副本.png

薄膜样品XRR衍射谱图



图片3_副本.png

摇摆测量衍射谱图



图片4_副本.png

薄膜掠入射分析GIXRD测量



Baidu
sogou